Polerowanie powierzchni bloku krzemu jest bezpośrednio związane z jakością cięcia płytki krzemowej. W procesie polerowania blok krzemowy jest polerowany kolejno za pomocą ściernicy zgrubnej i ściernicy drobnej. Zadaniem ściernicy zgrubnej jest przecięcie uszkodzonej warstwy na powierzchni bloku krzemu; Zadaniem ściernicy drobnej jest wypolerowanie i usunięcie śladów uszkodzonej warstwy oraz grubego piasku na powierzchni bloku krzemowego.
1. Aktualny stan
W warsztacie płytek krzemowych monokrystalicznych otwieramy maszynę przyspieszającą cięcie laserowe. Jeśli operator będzie nieco nieostrożny podczas rzeczywistej pracy, jakość cięcia laserowego bloku krzemu będzie niska. Główne punkty to: na powierzchni wyciętego laserowo bloku krzemu znajdują się ślady piły; rozmiar bloku krzemu „wybrzusza się” w środku; kształt lokalnego bloku krzemu jest wygięty w wyniku rozłączenia. Obecnie ściernica szczotkowa w warsztacie nie jest już w stanie całkowicie usunąć śladów piły spowodowanych cięciem laserowym; w przypadku bloku krzemowego z „wybrzuszonym brzuchem”, ze względu na ograniczoną zdolność polerską ściernicy szczotkowej, nie jest ona w stanie usunąć dużego rozmiaru w środku. W tej chwili istnieje pilna potrzeba tarczy szlifierskiej o większej zdolności szlifowania.
2. Wdrażaj strategię
Główną zasadą polerki obecnie używanej w warsztacie jest polerowanie powierzchni bloku krzemu za pomocą ściernicy zgrubnej i ściernicy drobnej. Obecnie ściernica zgrubna polerki zostaje zastąpiona tarczą diamentową, a tarcza szlifierska drobna wykorzystuje ściernicę szczotkową do polerowania bloku krzemu.
W eksperymencie wykorzystano tarczę szlifierską ze spoiwem żywicy diamentowej. Do cięcia można używać wszystkich naturalnych, sztucznych diamentów. Diament jest niezwykle silną formą węgla. Jest amfifilowy w stosunku do żelaza i powoduje szybkie uszkodzenia. Spoiwem jest żywica epoksydowa. Spoiwo typu ma pewien wpływ tłumiący drgania spowodowane tarciem w życiu. Wykorzystując dużą moc szlifowania tarczy diamentowej, można wyeliminować niektóre problemy z powierzchnią bloku krzemu spowodowane przez maszynę do cięcia, takie jak: ślady pił na powierzchni bloku krzemu wycinanego laserem; rozmiar bloku krzemu „wybrzusza się” w środku; Dobre rezultaty można uzyskać poprzez zagięcie kształtu lokalnego bloku krzemu spowodowanego pęknięciem, wykonanie podstawowego polerowania, a następnie zastosowanie drobnej ściernicy w celu ulepszenia powierzchni bloku krzemu.
